激光退火

成立仅半年！国产步进光刻机第500台交付

2025年8月8日，上海芯上微装科技股份有限公司（简称“芯上微装”或“AMIES”）举办了第500台步进光刻机交付仪式，充分展现了AMIES作为国产步进光刻机领军企业的自主创新实力，标志着我国高端半导体装备产业迈上新的台阶。相关政府部门、战略客户、股东代表、行

激光退火设备是指利用高能激光束对晶圆进行自动退火的专用设备，其主要功能是将具有特定形状、能量分布均匀的激光束斑投射到半导体晶圆上，由运动工作台承载和吸收进行扫描，以完成整片晶圆的退火过程。